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潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控
性能： 監(jiān)控zui小粒徑0.3µm（4903）和0.5µm（4905）
流量0.1cfm（
粒徑通道 R4903 CH1/CH2 0.3/0.5µm
R4905 CH1/CH2 0.5/5.0µm
激光光源采用激光二極管（30,000小時(shí) MTBF）
濃度損失<5%@2,000,000顆/ft3
電源采用6VDC（+10%） <125mA，回路供電15-30VDC
可選配開關(guān)電源，電源適配器，取樣或真空管，
PVO/UVO軟件等附件
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