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電子廠潔凈室認(rèn)證，以及過濾設(shè)備的認(rèn)證
性能： 0.1µm@50%效率
可選擇2,4,5,6個(gè)尺寸通道計(jì)量從0.1µm到1.0µm不同尺寸顆粒
重疊損失：<5%@120k 顆粒/ft3
數(shù)據(jù)儲存：500個(gè)樣品
流量0.1cfm（
光源采用激光二極管
帶電池操作時(shí)間為2小時(shí)
通信方式：RS232和RS485串行接口與計(jì)算機(jī)信
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